超純水概念

超純水是為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，其電阻率大于18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→自動加藥阻垢裝置→保安過濾器→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過濾器→用水點  

（2）原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水箱→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過濾器→用水點  

特別說明：

超純水在制備超純水后，要求輸送管道不能有析出物對超純水形成二次污染，否則將導(dǎo)致被清洗的芯片或電子設(shè)備受到污染而報廢。金屬管道不可避免有金屬離子析出，只有塑料管道較少（塑料材質(zhì)管道需要控制TOC析出）。此類管道大多是安裝在純水車間的純水設(shè)備及純水車間到各用水車間點位上，連接方式也是粘接，需要clean-PVC專用膠水。在超純水系統(tǒng)中，一般終端管道采用clean-PVC。