超純水概念

超純水是為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，其電阻率大于18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→自動(dòng)加藥阻垢裝置→保安過(guò)濾器→雙級(jí)反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過(guò)濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級(jí)拋光混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn) 

（2）原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水箱→雙級(jí)反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過(guò)濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級(jí)拋光混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)  

特別說(shuō)明：

超純水在制備超純水后，要求輸送管道不能有析出物對(duì)超純水形成二次污染，否則將導(dǎo)致被清洗的芯片或電子設(shè)備受到污染而報(bào)廢。金屬管道不可避免有金屬離子析出，只有塑料管道較少（塑料材質(zhì)管道需要控制TOC析出）。此類(lèi)管道大多是安裝在純水車(chē)間的純水設(shè)備及純水車(chē)間到各用水車(chē)間點(diǎn)位上，連接方式也是粘接，需要clean-PVC專(zhuān)用膠水。在超純水系統(tǒng)中，一般終端管道采用clean-PVC。